一种晶圆多功能测量及分选装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510677651.2

申请日：

2025-05-26

公开(公告)号：

CN120190136B

公开(公告)日：

2025-08-05

发明(设计)人：

李福荣李昆林

申请人：

上海星纳电子科技有限公司

申请人地址：

201612 上海市松江区漕河泾开发区松江高科技园莘砖公路518号24幢701室-1

IPC主分类号：

B07C5/00

IPC分类号：

B07C5/02 B07C5/36 B07C5/38 H01L21/67 H01L21/677

代理机构：

上海洞见未来专利代理有限公司 31467

代理人：

王杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B07C 5/00申请日:20250526
2025-06-24	公开	公开
2025-08-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆多功能测量及分选装置 [P].

李福荣 ;

李昆林 .

中国专利 :CN120190136A ,2025-06-24

[2]

一种晶圆测量分选装置 [P].

曹晓光 ;

李峰 ;

张同雷 .

中国专利 :CN218424254U ,2023-02-03

[3]

一种晶圆分选装置 [P].

周伟 .

中国专利 :CN222953031U ,2025-06-06

[4]

一种晶圆片分选装置 [P].

张栖源 .

中国专利 :CN209374406U ,2019-09-10

[5]

一种晶圆分选机 [P].

李海洋 ;

胡国俊 ;

奚衍东 ;

杨通 .

中国专利 :CN120674360A ,2025-09-19

[6]

一种晶圆分选机 [P].

李海洋 ;

胡国俊 ;

奚衍东 ;

杨通 .

中国专利 :CN120674360B ,2025-11-04

[7]

一种晶圆片厚度分选装置 [P].

吴功 ;

产文兵 .

中国专利 :CN214865343U ,2021-11-26

[8]

一种多功能分选装置 [P].

刘庭富 .

中国专利 :CN207971103U ,2018-10-16

[9]

一种晶圆刻字后自动分选装置 [P].

何东俊 ;

王明鑫 .

中国专利 :CN223145351U ,2025-07-25

[10]

一种多功能分选装置 [P].

刘庭富 .

中国专利 :CN107838037A ,2018-03-27

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