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一种晶圆片分选装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820335136.1
申请日：
2018-03-12
公开(公告)号：
CN209374406U
公开(公告)日：
2019-09-10
发明(设计)人：
张栖源
申请人：
申请人地址：
335400 江西省鹰潭市贵溪市经济开发区创新创业园9栋
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21683
代理机构：
北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562
代理人：
宋平
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-10 | 授权 | 授权 |