一种晶圆分选装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420038360.X
申请日
2024-01-08
公开(公告)号
CN222953031U
公开(公告)日
2025-06-06
发明(设计)人
周伟
申请人
苏州浦丰鑫电子科技有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区泰山路向街19号厂区二楼东南侧
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
B08B3/04 B08B3/12 B08B11/00 B07C5/02
代理机构
北京亿知臻成专利代理事务所(普通合伙) 16123
代理人
张毅
法律状态
授权
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
一种晶圆测量分选装置 [P]. 
曹晓光 ;
李峰 ;
张同雷 .
中国专利 :CN218424254U ,2023-02-03
[2]
一种晶圆片分选装置 [P]. 
张栖源 .
中国专利 :CN209374406U ,2019-09-10
[3]
一种晶圆分选设备 [P]. 
王云靖 ;
孙传朋 ;
刘沉 .
中国专利 :CN220716780U ,2024-04-05
[4]
一种晶圆片厚度分选装置 [P]. 
吴功 ;
产文兵 .
中国专利 :CN214865343U ,2021-11-26
[5]
一种晶圆刻字后自动分选装置 [P]. 
何东俊 ;
王明鑫 .
中国专利 :CN223145351U ,2025-07-25
[6]
一种晶圆分选机 [P]. 
李海洋 ;
胡国俊 ;
奚衍东 ;
杨通 .
中国专利 :CN120674360A ,2025-09-19
[7]
一种晶圆分选设备 [P]. 
胡争光 ;
师利全 ;
李小根 ;
罗东 ;
贺天文 ;
甘恩荣 ;
吴嘉睿 .
中国专利 :CN217043543U ,2022-07-26
[8]
一种晶圆分选机 [P]. 
李海洋 ;
胡国俊 ;
奚衍东 ;
杨通 .
中国专利 :CN120674360B ,2025-11-04
[9]
一种晶圆平整度检测分选装置 [P]. 
张旭东 ;
丁行健 .
中国专利 :CN216757269U ,2022-06-17
[10]
一种晶圆清洗装置 [P]. 
郭忠 .
中国专利 :CN221125899U ,2024-06-11