一种智能化半导体芯片和器件测试系统平台

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202011545125.4
申请日
2020-12-24
公开(公告)号
CN112730455A
公开(公告)日
2021-04-30
发明(设计)人
陈宇 严丽红 辛藤
申请人
申请人地址
215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇华昌路沙洲湖科创园
IPC主分类号
G01N2195
IPC分类号
G01R3126 G01R3128 H01L2166
代理机构
北京集智东方知识产权代理有限公司 11578
代理人
吴倩
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体芯片和半导体器件 [P]. 
津村一道 ;
东和幸 .
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半导体芯片和半导体器件 [P]. 
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半导体芯片、半导体结构和半导体器件 [P]. 
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半导体芯片测试系统和方法 [P]. 
牟赟 .
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[6]
一种半导体芯片测试系统 [P]. 
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[7]
一种半导体芯片测试系统 [P]. 
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半导体芯片和半导体器件 [P]. 
棈松高志 ;
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半导体芯片和半导体器件 [P]. 
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