一种提高氮化硅蚀刻均匀性的酸性蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911088498.0

申请日：

2019-11-08

公开(公告)号：

CN110878208A

公开(公告)日：

2020-03-13

发明(设计)人：

李少平张庭郝晓斌贺兆波冯凯王书萍尹印万杨阳张演哲

申请人：

申请人地址：

443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号

IPC主分类号：

C09K1306

IPC分类号：

代理机构：

宜昌市三峡专利事务所 42103

代理人：

成钢

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 13/06 申请日:20191108
2020-03-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氮化硅蚀刻液 [P].

李少平 ;

班昌胜 ;

冯凯 ;

李飞 ;

李素云 .

中国专利 :CN120865923A ,2025-10-31

[2]

一种选择性蚀刻氮化硅及氧化硅和氮化钛的蚀刻液 [P].

李飞 ;

贺兆波 ;

冯凯 ;

班昌胜 ;

李素云 ;

苏张轩 ;

罗佳杨 ;

严凡 ;

樊澌 ;

徐泽 ;

黄莉 .

中国专利 :CN119614203A ,2025-03-14

[3]

氮化硅蚀刻液组成物 [P].

大和田拓央 ;

吉田勇喜 ;

持田耕平 ;

仓本蕗人 .

日本专利 :CN118435329A ,2024-08-02

[4]

氮化硅蚀刻液组合物 [P].

大和田拓央 ;

持田耕平 ;

吉田勇喜 .

中国专利 :CN113544822A ,2021-10-22

[5]

一种高选择性蚀刻掺杂氧化硅/碳氮化硅的蚀刻液 [P].

武昊冉 ;

张庭 ;

贺兆波 ;

李金航 ;

叶瑞 ;

李鑫 ;

徐子豪 .

中国专利 :CN116103047B ,2024-03-12

[6]

选择性蚀刻氮化硅及氮化钛的蚀刻液及其制备方法 [P].

李少平 ;

王宏博 ;

贺兆波 ;

池汝安 ;

叶瑞 ;

冯凯 ;

班昌胜 ;

严凡 ;

李飞 ;

李素云 ;

樊澌 ;

苏张轩 ;

罗佳杨 .

中国专利 :CN119286526A ,2025-01-10

[7]

氮化硅蚀刻方法 [P].

廖军 ;

张志敏 .

中国专利 :CN114050107B ,2022-02-15

[8]

氮化硅的选择性蚀刻 [P].

卢欣亮 ;

杨海春 ;

葛振宾 ;

卢楠 ;

戴维·T·奥 ;

希恩-坦恩·卡欧 ;

梅·常 .

中国专利 :CN102160154A ,2011-08-17

[9]

氮化硅的选择性蚀刻 [P].

Z·陈 ;

Z·李 ;

A·王 ;

N·K·英格尔 ;

S·文卡特拉曼 .

中国专利 :CN105580118B ,2016-05-11

[10]

一种适用于深沟槽蚀刻的氮化硅蚀刻液 [P].

李少平 ;

班昌胜 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

冯凯 ;

叶瑞 ;

王书萍 ;

王宏博 ;

苏张轩 ;

李素云 ;

李飞 .

中国专利 :CN118813261A ,2024-10-22

← 1 2 3 4 5 →