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氮化硅蚀刻方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210029447.6
申请日：
2022-01-12
公开(公告)号：
CN114050107B
公开(公告)日：
2022-02-15
发明(设计)人：
廖军
张志敏
申请人：
申请人地址：
510000 广东省广州市黄埔区中新广州知识城凤凰五路28号
IPC主分类号：
H01L21311
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
冯启正
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/311 申请日:20220112 |
| 2022-02-15 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-12 | 授权 | 授权 |