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晶圆表面颗粒清洗喷嘴
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020101283.X
申请日：
2020-01-17
公开(公告)号：
CN212120439U
公开(公告)日：
2020-12-11
发明(设计)人：
陈兴隆
彭博
申请人：
申请人地址：
110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
IPC主分类号：
B05B704
IPC分类号：
B05B708
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
黄海霞
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-11 | 授权 | 授权 |