晶圆辅助贴膜装置

被引：0

申请号：

CN202122885262.9

申请日：

2021-11-23

公开(公告)号：

CN216354131U

公开(公告)日：

2022-04-19

发明(设计)人：

武春风陈瑜

申请人：

申请人地址：

610000 四川省成都市天府新区天府新经济产业园B区湖畔路北段269号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214

代理人：

马腾飞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆贴膜装置 [P].

封波涛 .

中国专利 :CN223140734U ,2025-07-22

[2]

晶圆贴膜装置 [P].

姚剑锋 ;

曹石彬 .

中国专利 :CN201623009U ,2010-11-03

[3]

晶圆贴膜装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN204271047U ,2015-04-15

[4]

晶圆贴膜装置 [P].

莫文亮 ;

姚伟 .

中国专利 :CN222320202U ,2025-01-07

[5]

晶圆贴膜方法及晶圆贴膜装置 [P].

张明星 .

中国专利 :CN102103987A ,2011-06-22

[6]

晶圆贴膜方法及晶圆贴膜装置 [P].

陈鹏 ;

周厚德 ;

李明亮 .

中国专利 :CN110223942A ,2019-09-10

[7]

晶圆贴膜装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN104409384A ,2015-03-11

[8]

晶圆移载割膜装置及晶圆贴膜设备 [P].

杨善斌 ;

范志平 ;

刘攀 ;

卢少君 .

中国专利 :CN222628013U ,2025-03-18

[9]

晶圆贴膜机、拉膜装置及晶圆贴膜方法 [P].

陈明宗 ;

曾永村 ;

杨佳裕 ;

赖家伟 .

中国专利 :CN111312610B ,2024-02-06

[10]

晶圆贴膜机、拉膜装置及晶圆贴膜方法 [P].

陈明宗 ;

曾永村 ;

杨佳裕 ;

赖家伟 .

中国专利 :CN111312610A ,2020-06-19

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