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一种原子层沉积装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022358707.3
申请日：
2020-10-21
公开(公告)号：
CN213596393U
公开(公告)日：
2021-07-02
发明(设计)人：
徐志斌
马骏
祝晓钊
冯敏强
廖良生
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
C23C16458
C23C1644
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
胡彬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-02 | 授权 | 授权 |