MEMS传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110082211.4

申请日：

2021-01-21

公开(公告)号：

CN112758883A

公开(公告)日：

2021-05-07

发明(设计)人：

宋亚伟迟海宋学谦

申请人：

申请人地址：

311501 浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区求是路299号A1号楼

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

B81B702 B81C100

代理机构：

北京博思佳知识产权代理有限公司 11415

代理人：

杨春香

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20210121
2021-05-07	公开	公开

共 50 条

[41]

一种MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

祁明锋 ;

张珽 ;

沈方平 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104181203B ,2014-12-03

[42]

用于制造MEMS传感器的方法和MEMS传感器 [P].

M·施泰尔特 .

中国专利 :CN109422239A ,2019-03-05

[43]

基于MEMS的传感器的制作方法 [P].

胡永刚 ;

周国平 .

中国专利 :CN105174203B ,2015-12-23

[44]

环境MEMS传感器基板封装结构及制作方法 [P].

孙鹏 ;

王宏杰 ;

徐健 .

中国专利 :CN103539063A ,2014-01-29

[45]

MEMS皮拉尼计及其制作方法、MEMS传感器及电子设备 [P].

邱文瑞 ;

刘兵 ;

方华斌 ;

田峻瑜 ;

王德信 ;

陈岭 ;

孟晗 ;

赵紫雲 .

中国专利 :CN112320750A ,2021-02-05

[46]

图像传感器及其制作方法 [P].

蒲月皎 ;

吴永皓 .

中国专利 :CN104934450B ,2015-09-23

[47]

图像传感器及其制作方法 [P].

都智 ;

马忠祥 ;

龚柏铧 ;

谢荣源 .

中国专利 :CN114388548A ,2022-04-22

[48]

图像传感器及其制作方法 [P].

陈维邦 .

中国专利 :CN115132771B ,2022-09-30

[49]

磁传感器及其制作方法 [P].

孙一慧 ;

刘波 ;

李辉辉 .

中国专利 :CN112289922A ,2021-01-29

[50]

图像传感器及其制作方法 [P].

吴玉森 ;

杨孝东 .

中国专利 :CN118016686A ,2024-05-10

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