MEMS传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110082211.4

申请日：

2021-01-21

公开(公告)号：

CN112758883A

公开(公告)日：

2021-05-07

发明(设计)人：

宋亚伟迟海宋学谦

申请人：

申请人地址：

311501 浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区求是路299号A1号楼

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

B81B702 B81C100

代理机构：

北京博思佳知识产权代理有限公司 11415

代理人：

杨春香

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20210121
2021-05-07	公开	公开

共 50 条

[31]

MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

德国专利 :CN110498385B ,2024-08-30

[32]

传感器及其制作方法 [P].

邢一凡 ;

秦锋 ;

林柏全 ;

韩笑男 ;

包异凡 ;

粟平 ;

代胜伟 ;

贾振宇 ;

刘桢 ;

陈晓君 .

中国专利 :CN118859210A ,2024-10-29

[33]

传感器及其制作方法 [P].

邓自然 ;

黄宇传 ;

王书方 ;

陈伯鹫 .

中国专利 :CN114023828A ,2022-02-08

[34]

一种MEMS薄膜制作方法及MEMS薄膜传感器 [P].

宏宇 ;

武斌 .

中国专利 :CN120397982B ,2025-09-12

[35]

一种MEMS薄膜制作方法及MEMS薄膜传感器 [P].

宏宇 ;

武斌 .

中国专利 :CN120397982A ,2025-08-01

[36]

MEMS结构、MEMS结构的制作方法及胎压传感器 [P].

聂泳忠 .

中国专利 :CN110577185B ,2019-12-17

[37]

MEMS麦克风与压力集成传感器及其制作方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102158787A ,2011-08-17

[38]

一种三维MEMS传感器及其制作方法 [P].

张毅 ;

薛世峰 ;

李琳 ;

贾朋 ;

叶贵根 ;

朱秀星 .

中国专利 :CN108896216A ,2018-11-27

[39]

一种MEMS触觉传感器及其制作方法 [P].

刘桂芝 ;

何云 ;

王冬峰 .

中国专利 :CN111661815A ,2020-09-15

[40]

一种MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

李明杰 ;

罗文昕 .

中国专利 :CN117890437A ,2024-04-16

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