一种MEMS电场传感器及其无线供能系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721672787.1

申请日：

2017-12-05

公开(公告)号：

CN207895003U

公开(公告)日：

2018-09-21

发明(设计)人：

范亚洲余占清黄嫔斌牟亚甄志明王晓蕊温带银

申请人：

申请人地址：

广东省江门市蓬江区建设二路152号

IPC主分类号：

G01R2912

IPC分类号：

H02J5020

代理机构：

北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594

代理人：

王冲;吴鑫

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-21	授权	授权

共 50 条

[41]

一种轮速传感器及其传感方法 [P].

邱鹏 ;

许英华 ;

郎君 ;

王卫华 .

中国专利 :CN118226070A ,2024-06-21

[42]

一种场磨式空域电场传感器装置及电场测量方法 [P].

吴桂芳 ;

赵录兴 ;

谢莉 ;

崔勇 ;

何堃 ;

鞠勇 .

中国专利 :CN112305327B ,2021-02-02

[43]

一种MEMS压电传感器及其制作方法 [P].

周文卿 .

中国专利 :CN108217581A ,2018-06-29

[44]

MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

中国专利 :CN110498385A ,2019-11-26

[45]

MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

德国专利 :CN110498385B ,2024-08-30

[46]

一种制备压电驱动MEMS电场传感器的工艺方法 [P].

杨庆 ;

柯锟 ;

廖伟 ;

邱震辉 .

中国专利 :CN116040577B ,2025-08-26

[47]

一种基于GIS-SOI-GOS的垂直谐振式MEMS电场传感器 [P].

夏善红 ;

高雅浩 ;

刘向明 ;

彭思敏 ;

彭春荣 .

中国专利 :CN115684740A ,2023-02-03

[48]

MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

周永建 ;

张潇筱 ;

刘婧 ;

孟海龙 ;

杨长春 ;

韩可都 ;

冯方方 .

中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21

[49]

一种多点式压力传感器无源无线测量电路 [P].

黄燕 ;

王立峰 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN105806410A ,2016-07-27

[50]

一种无线光电传感器 [P].

刘伟 .

中国专利 :CN204043685U ,2014-12-24

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