一种切割液及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201110163542.7
申请日
2011-06-17
公开(公告)号
CN102827672A
公开(公告)日
2012-12-19
发明(设计)人
王美艳 张日清 周勇
申请人
申请人地址
518118 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号
IPC主分类号
C10M16904
IPC分类号
C10N4000
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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[6]
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[7]
一种硅片切割液 [P]. 
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[8]
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[9]
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[10]
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