去除光掩模光刻胶的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010176627.4

申请日：

2010-05-19

公开(公告)号：

CN102253608B

公开(公告)日：

2011-11-23

发明(设计)人：

金海涛徐飞吉保国王夏

申请人：

申请人地址：

213022 江苏省常州市长江中路25号A座316

IPC主分类号：

G03F732

IPC分类号：

G03F730

代理机构：

常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231

代理人：

金辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101165558757 IPC(主分类):G03F 7/32 专利申请号:2010101766274 申请日:20100519
2011-11-23	公开	公开
2012-09-05	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶的去除方法 [P].

杨峰 ;

谭宗良 .

中国专利 :CN102082089A ,2011-06-01

[2]

光刻胶的去除方法 [P].

高慧慧 ;

秦伟 ;

杨渝书 .

中国专利 :CN103646873A ,2014-03-19

[3]

光刻胶去除方法 [P].

萧忠仁 ;

陈雅萍 ;

林建宏 ;

刘文斌 ;

陈志文 .

中国专利 :CN110716399A ,2020-01-21

[4]

光刻胶的去除方法 [P].

刘佑铭 .

中国专利 :CN101354542A ,2009-01-28

[5]

光刻胶去除方法及光刻胶重制方法 [P].

邱靖尧 ;

谢玟茜 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110581065A ,2019-12-17

[6]

光刻胶去除装置和去除光刻胶的方法 [P].

张凇铭 ;

惠世鹏 ;

刘效岩 .

中国专利 :CN111610698A ,2020-09-01

[7]

光刻胶去除方法以及光刻胶去除系统 [P].

赵仲平 ;

张文龙 ;

戴茂春 ;

淮赛男 ;

周宇 .

中国专利 :CN113721430B ,2021-11-30

[8]

光刻胶去除设备及光刻胶去除方法 [P].

邢程 ;

朱振华 .

中国专利 :CN113687575A ,2021-11-23

[9]

光刻胶的去除方法 [P].

李俊良 .

中国专利 :CN102768476A ,2012-11-07

[10]

光刻胶的去除方法 [P].

郭佳衢 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN101211125A ,2008-07-02

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