一种硅片半自动研磨装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201620425460.3
申请日
2016-05-12
公开(公告)号
CN205799196U
公开(公告)日
2016-12-14
发明(设计)人
吉成东
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市浒关分区塘西路25号
IPC主分类号
B24B3710
IPC分类号
B24B3734 B24B37005
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
一种硅片半自动研磨装置 [P]. 
吉成东 .
中国专利 :CN105834890A ,2016-08-10
[2]
一种硅片自动研磨装置 [P]. 
吉成东 .
中国专利 :CN205852505U ,2017-01-04
[3]
一种硅片自动研磨装置 [P]. 
吉成东 .
中国专利 :CN105834889A ,2016-08-10
[4]
一种硅片自动研磨装置 [P]. 
王永超 ;
郭城 ;
吕明 ;
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中国专利 :CN208496701U ,2019-02-15
[5]
半自动研磨装置 [P]. 
马香柏 .
中国专利 :CN202726711U ,2013-02-13
[6]
半自动金相研磨装置 [P]. 
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[7]
一种硅片研磨装置 [P]. 
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[8]
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[9]
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[10]
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