一种硅片自动研磨装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610310377.6
申请日
2016-05-12
公开(公告)号
CN105834889A
公开(公告)日
2016-08-10
发明(设计)人
吉成东
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市浒关分区塘西路25号
IPC主分类号
B24B3710
IPC分类号
B24B722 B24B4720 B24B4704 B24B4102
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种硅片自动研磨装置 [P]. 
吉成东 .
中国专利 :CN205852505U ,2017-01-04
[2]
一种硅片半自动研磨装置 [P]. 
吉成东 .
中国专利 :CN105834890A ,2016-08-10
[3]
一种硅片半自动研磨装置 [P]. 
吉成东 .
中国专利 :CN205799196U ,2016-12-14
[4]
一种硅片自动研磨装置 [P]. 
王永超 ;
郭城 ;
吕明 ;
李忠泉 .
中国专利 :CN208496701U ,2019-02-15
[5]
一种硅片研磨装置 [P]. 
王康 ;
王鑫波 ;
孟光棚 .
中国专利 :CN203622175U ,2014-06-04
[6]
一种硅片研磨装置 [P]. 
谭莲燕 ;
常进 .
中国专利 :CN222843819U ,2025-05-09
[7]
一种硅片研磨装置 [P]. 
廖浩杰 ;
师明山 ;
王梓洋 ;
梁昌圣 ;
胡斌 ;
武阳 ;
付浩杰 ;
成铭江 ;
王子珊 .
中国专利 :CN221185836U ,2024-06-21
[8]
一种硅片研磨装置 [P]. 
李炜 ;
王看看 .
中国专利 :CN223368984U ,2025-09-23
[9]
一种硅片研磨装置 [P]. 
龚大成 .
中国专利 :CN220902935U ,2024-05-07
[10]
一种硅片研磨装置 [P]. 
陈钦忠 ;
邓全清 .
中国专利 :CN205271696U ,2016-06-01