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等离子体灰化装置和终点检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200480014072.6
申请日：
2004-05-21
公开(公告)号：
CN1802722A
公开(公告)日：
2006-07-12
发明(设计)人：
A·史瑞伐斯塔伐
P·沙克希威尔
T·巴克利
申请人：
申请人地址：
美国马萨诸塞州
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
廖凌玲;胡强
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2006-07-12 | 公开 | 公开 |
| 2015-07-08 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101616797720 IPC(主分类):H01J 37/32 专利号:ZL2004800140726 申请日:20040521 授权公告日:20100929 终止日期:20140521 |
| 2006-09-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2013-11-06 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101669276922 IPC(主分类):H01J 37/32 专利号:ZL2004800140726 变更事项:专利权人 变更前权利人:艾克塞利斯技术公司 变更后权利人:朗姆研究公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国马萨诸塞州 变更后权利人:美国加利福尼亚州 登记生效日:20131008 |
| 2010-09-29 | 授权 | 授权 |