等离子体处理装置和终点检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380053362.4

申请日：

2023-07-14

公开(公告)号：

CN119547188A

公开(公告)日：

2025-02-28

发明(设计)人：

林雅一

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/3065

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;何中文

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-28	公开	公开
2025-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/3065申请日:20230714

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和终点检测方法 [P].

舆水地盐 ;

永井龙 .

日本专利 :CN120981896A ,2025-11-18

[2]

等离子体处理装置、等离子体处理方法以及终点检测方法 [P].

壁义郎 ;

太田欣也 ;

北川淳一 .

中国专利 :CN101681832A ,2010-03-24

[3]

等离子体灰化装置和终点检测方法 [P].

A·史瑞伐斯塔伐 ;

P·沙克希威尔 ;

T·巴克利 .

中国专利 :CN1802722A ,2006-07-12

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

金子和史 .

中国专利 :CN114302547A ,2022-04-08

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 .

日本专利 :CN117480870B ,2024-06-28

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

塚原利也 ;

山边周平 ;

谷地晃汰 ;

佐藤徹治 ;

内田阳平 ;

铃木步太 ;

田村洋典 ;

花冈秀敏 ;

佐佐木淳一 .

日本专利 :CN111261511B ,2024-06-18

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

田井将纪 .

日本专利 :CN120036053A ,2025-05-23

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

竹内贵广 ;

小林宪 .

中国专利 :CN114188208A ,2022-03-15

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西野雅 ;

真壁正嗣 ;

长山将之 ;

半田达也 ;

绿川良太郎 ;

小林启悟 ;

仁矢铁也 .

中国专利 :CN103959447A ,2014-07-30

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

塚原利也 ;

山边周平 ;

谷地晃汰 ;

佐藤徹治 ;

内田阳平 ;

铃木步太 ;

田村洋典 ;

花冈秀敏 ;

佐佐木淳一 .

中国专利 :CN111261511A ,2020-06-09

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