等离子体处理装置和终点检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480026054.7

申请日：

2024-04-10

公开(公告)号：

CN120981896A

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

舆水地盐永井龙

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/3065

IPC分类号：

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;池兵

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	公开	公开
2025-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/3065申请日:20240410

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和终点检测方法 [P].

林雅一 .

日本专利 :CN119547188A ,2025-02-28

[2]

等离子体处理装置、等离子体处理方法以及终点检测方法 [P].

壁义郎 ;

太田欣也 ;

北川淳一 .

中国专利 :CN101681832A ,2010-03-24

[3]

等离子体灰化装置和终点检测方法 [P].

A·史瑞伐斯塔伐 ;

P·沙克希威尔 ;

T·巴克利 .

中国专利 :CN1802722A ,2006-07-12

[4]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

李诚泰 ;

土桥和也 .

中国专利 :CN102347231B ,2012-02-08

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 ;

齐藤昌司 ;

传宝一树 ;

輿水地盐 ;

山涌纯 .

中国专利 :CN102056396A ,2011-05-11

[7]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

小川和人 ;

中川显 ;

小西英纪 .

中国专利 :CN104704612A ,2015-06-10

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

舆石公 .

中国专利 :CN100446637C ,2006-10-04

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

金俸奭 ;

小林宪 ;

大秦充敬 ;

裴允淏 .

中国专利 :CN113675064A ,2021-11-19

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