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制备凹陷源漏场效应晶体管的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200710000682.6
申请日：
2007-01-16
公开(公告)号：
CN101226881A
公开(公告)日：
2008-07-23
发明(设计)人：
肖韩
黄如
申请人：
申请人地址：
100871北京市海淀区颐和园路5号
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
代理机构：
北京君尚知识产权代理事务所
代理人：
贾晓玲
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-03 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20070116 授权公告日:20100915 终止日期:20190116 |
| 2008-09-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2010-08-04 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101003683322 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2007100006826 变更事项:发明人 变更前:肖韩;黄如 变更后:黄如;肖韩;张丽杰 |
| 2010-12-22 | 发明专利更正 | 发明专利公报更正 号牌文件类型代码:1608 号牌文件序号:101056799733 卷:26 号:37 页码:无 申请号:2007100006826 IPC(主分类):H01L0021336000 修正类型代码:无 更正项目:发明人 误:黄如|张丽杰 正:黄如|肖韩|张丽杰 |
| 2008-07-23 | 公开 | 公开 |
| 2010-09-15 | 授权 | 授权 |
| 2013-06-19 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101613023561 IPC(主分类):H01L 21/336 专利号:ZL2007100006826 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京大学 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100871 北京市海淀区颐和园路5号 变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号 变更事项:专利权人 变更前权利人:无 变更后权利人:北京大学 登记生效日:20130523 |