一种光学系统受迫振动的在线测量方法及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210222680.2
申请日
2012-06-29
公开(公告)号
CN102735423B
公开(公告)日
2012-10-17
发明(设计)人
王大辉 赵学庆 张永生 孙昱薇 胡云 易爱平 赵军
申请人
申请人地址
710024 陕西省西安市69信箱
IPC主分类号
G01M1100
IPC分类号
代理机构
西安智邦专利商标代理有限公司 61211
代理人
王少文
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
基于光学系统鬼像测量装置的光学系统鬼像测量方法 [P]. 
薛勋 ;
赵建科 ;
刘尚阔 ;
张洁 ;
胡丹丹 ;
李坤 ;
曹昆 ;
昌明 ;
王争锋 ;
李晶 ;
赵怀学 ;
陈永权 ;
段亚轩 ;
田留德 ;
潘亮 ;
徐亮 ;
刘峰 ;
赛建刚 ;
周艳 ;
高斌 ;
高博 .
中国专利 :CN106248351B ,2016-12-21
[2]
光学系统波前测量装置及测量方法 [P]. 
陈永权 ;
段亚轩 ;
李坤 ;
赵建科 ;
胡丹丹 ;
赛建刚 ;
龙江波 .
中国专利 :CN103226059A ,2013-07-31
[3]
测量光学系统参数的测量装置及其测量方法 [P]. 
刘国淦 ;
蔡燕民 .
中国专利 :CN101226344B ,2008-07-23
[4]
用于测量光学系统中下降的电压的测量装置和测量方法、光学系统和光刻系统 [P]. 
O·赫伯斯特 .
德国专利 :CN119907925A ,2025-04-29
[5]
一种自由曲面无焦光学系统的光学性能测量方法 [P]. 
刘现磊 ;
张宏舜 ;
张效栋 ;
刘磊 .
中国专利 :CN117571263A ,2024-02-20
[6]
一种光学系统波像差测量装置与测量方法 [P]. 
卢增雄 ;
齐月静 ;
苏佳妮 ;
杨光华 ;
周翊 ;
王宇 .
中国专利 :CN104101487A ,2014-10-15
[7]
一种应用于光学系统的角度测量方法及测量装置 [P]. 
孙琦 .
中国专利 :CN109883360B ,2019-06-14
[8]
光学系统及该光学系统的荧光测量方法和预定位方法 [P]. 
李晓东 ;
宫宇 ;
李延春 ;
杨栋亮 .
中国专利 :CN106525884A ,2017-03-22
[9]
一种运动目标测量光学系统及测量方法 [P]. 
姜凯 ;
廉学正 ;
郭敏 ;
孙晗香 ;
王形峰 ;
邱鹏 .
中国专利 :CN119915244A ,2025-05-02
[10]
一种运动目标测量光学系统及测量方法 [P]. 
姜凯 ;
廉学正 ;
郭敏 ;
孙晗香 ;
王形峰 ;
邱鹏 .
中国专利 :CN119915244B ,2025-11-04