供气模块及包括此的基板处理装置

被引：0

申请号：

CN202111291099.1

申请日：

2021-11-03

公开(公告)号：

CN114551205A

公开(公告)日：

2022-05-27

发明(设计)人：

宋昞昊

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384

代理人：

郑青松

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-27	公开	公开
2022-06-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20211103

共 50 条

[1]

供气模块及包括此的基板处理装置 [P].

宋昞昊 .

韩国专利 :CN114551205B ,2025-02-14

[2]

基板处理模块及包括该基板处理模块的装置 [P].

金泰雨 ;

李相洙 ;

黄载勳 .

中国专利 :CN114300378A ,2022-04-08

[3]

基板支撑架及包括此的基板处理装置 [P].

金正来 ;

任圣淳 ;

朴祥龙 .

中国专利 :CN114068349A ,2022-02-18

[4]

基板处理装置及利用此的基板处理方法 [P].

崔大俊 ;

李寅宰 ;

金泰学 .

中国专利 :CN112017935A ,2020-12-01

[5]

基板处理装置及利用此的基板处理方法 [P].

崔大俊 ;

李寅宰 ;

金泰学 .

韩国专利 :CN112017935B ,2024-12-13

[6]

气体供给模块及包括其的基板处理装置 [P].

金刚熙 ;

金荣敏 ;

金重吉 ;

金贤 ;

郑玟煜 .

韩国专利 :CN120072609A ,2025-05-30

[7]

基板支撑模块及包括其的基板处理装置 [P].

梁承悦 ;

朴暻完 .

韩国专利 :CN117936451A ,2024-04-26

[8]

基板处理装置的供气单元及基板处理装置 [P].

孙亨圭 ;

李珍贤 .

中国专利 :CN111627830A ,2020-09-04

[9]

基板处理装置及利用此的基板处理方法 [P].

田才允 .

韩国专利 :CN118213290A ,2024-06-18

[10]

基板处理装置及利用此的基板处理方法 [P].

申睿真 ;

金泰仁 ;

李晧濬 ;

李润炯 ;

南贤晶 .

韩国专利 :CN118231212A ,2024-06-21

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