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供气模块及包括此的基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111291099.1
申请日：
2021-11-03
公开(公告)号：
CN114551205B
公开(公告)日：
2025-02-14
发明(设计)人：
宋昞昊
申请人：
圆益IPS股份有限公司
申请人地址：
韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384
代理人：
郑青松
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-14 | 授权 | 授权 |