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分子束流限制装置及分子束外延设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120101614.4
申请日：
2021-01-13
公开(公告)号：
CN215560800U
公开(公告)日：
2022-01-18
发明(设计)人：
倪健
吴亮亮
薛聪
申请人：
申请人地址：
518051 广东省深圳市南山区招商街道文竹园社区荔园路51源华综合楼
IPC主分类号：
C30B2302
IPC分类号：
C30B2812
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
吴平
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-04 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C30B 23/02 登记生效日:20220218 变更事项:专利权人 变更前权利人:埃特曼（深圳）半导体技术有限公司 变更后权利人:迪希埃（北京）半导体技术有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:518051 广东省深圳市南山区招商街道文竹园社区荔园路51源华综合楼 变更后权利人:101300 北京市顺义区文良街15号院2号楼D1-D2区（科技创新产业功能区） |
| 2022-01-18 | 授权 | 授权 |