束流分布监测装置、分子束外延设备及束流分布监测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311303443.3

申请日：

2023-10-10

公开(公告)号：

CN117406263A

公开(公告)日：

2024-01-16

发明(设计)人：

彭长四周均铭林凡倪健

申请人：

埃特曼半导体技术有限公司

申请人地址：

361000 福建省厦门市集美区后溪镇金岭北路159-7号101室

IPC主分类号：

G01T1/29

IPC分类号：

C30B25/16 C23C16/52 G01T7/00

代理机构：

苏州锦尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32502

代理人：

朱磊;李洋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

福建省厦门市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01T 1/29申请日:20231010
2024-01-16	公开	公开

共 50 条

[1]

束流探测装置及分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

王旭光 ;

董海云 ;

倪健 .

中国专利 :CN221039441U ,2024-05-28

[2]

分子束流限制装置及分子束外延设备 [P].

倪健 ;

吴亮亮 ;

薛聪 .

中国专利 :CN215560800U ,2022-01-18

[3]

分子束外延设备及分子束外延设备的控制方法 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

杨晓楠 ;

倪健 .

中国专利 :CN117403323A ,2024-01-16

[4]

束流分布专用探测装置和束流分布探测方法 [P].

赵博震 ;

郭云开 ;

张战强 ;

韦亮军 ;

王雪 ;

张文剑 ;

李树伟 ;

朱维彬 ;

邹湘 ;

于昊 ;

李荐民 .

中国专利 :CN115436989A ,2022-12-06

[5]

束流分布专用探测装置和束流分布探测方法 [P].

赵博震 ;

郭云开 ;

张战强 ;

韦亮军 ;

王雪 ;

张文剑 ;

李树伟 ;

朱维彬 ;

邹湘 ;

于昊 ;

李荐民 .

中国专利 :CN115436989B ,2025-08-29

[6]

分子束外延设备的源炉及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

倪健 .

中国专利 :CN220788877U ,2024-04-16

[7]

隔离装置及分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

薛聪 ;

倪健 .

中国专利 :CN220724410U ,2024-04-05

[8]

分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

薛聪 ;

倪健 .

中国专利 :CN220746138U ,2024-04-09

[9]

源炉挡板装置及分子束外延设备 [P].

彭长四 ;

周均铭 ;

董海云 ;

倪健 .

中国专利 :CN220867574U ,2024-04-30

[10]

分子束外延设备的样品台及分子束外延设备 [P].

楼厦 ;

倪健 ;

赵金堂 .

中国专利 :CN120425453A ,2025-08-05

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