化学气相沉积装置的温度控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310126190.7

申请日：

2010-09-30

公开(公告)号：

CN103173745A

公开(公告)日：

2013-06-26

发明(设计)人：

洪性在李弘源韩锡万陈周

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

C23C1646 C23C16458

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

黄纶伟;吕俊刚

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/52 申请日:20100930 授权公告日:20150408 终止日期:20160930
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101497332028 IPC(主分类):C23C 16/52 专利申请号:2013101261907 申请日:20100930
2015-04-08	授权	授权
2013-06-26	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积装置的温度控制方法 [P].

洪性在 ;

李弘源 ;

韩锡万 ;

陈周 .

中国专利 :CN102102196A ,2011-06-22

[2]

化学气相沉积装置及其温度控制方法 [P].

吴铭钦 ;

刘峰 .

中国专利 :CN112746266A ,2021-05-04

[3]

化学气相沉积装置及其温度控制方法 [P].

吴铭钦 ;

刘峰 .

中国专利 :CN112680724A ,2021-04-20

[4]

化学气相沉积装置及基片温度控制方法 [P].

姜勇 ;

张昭 .

中国专利 :CN114196944A ,2022-03-18

[5]

化学气相沉积装置及基片温度控制方法 [P].

姜勇 ;

张昭 .

中国专利 :CN114196944B ,2024-05-14

[6]

化学气相沉积装置、化学气相沉积方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103060772B ,2013-04-24

[7]

化学气相沉积设备以及化学气相沉积设备的温度控制方法 [P].

洪性在 .

中国专利 :CN102640260A ,2012-08-15

[8]

化学气相沉积装置和化学气相沉积方法 [P].

酒井士郎 ;

高松勇吉 ;

森勇次 ;

直井弘之 ;

H·X·王 ;

石滨义康 ;

纲岛丰 .

中国专利 :CN1259450C ,2002-04-17

[9]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘忠范 ;

亓月 ;

杨钰垚 ;

袁昊 .

中国专利 :CN118814133A ,2024-10-22

[10]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN102851651A ,2013-01-02

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