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化学气相沉积装置及其温度控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011521742.0
申请日：
2020-12-21
公开(公告)号：
CN112746266A
公开(公告)日：
2021-05-04
发明(设计)人：
吴铭钦
刘峰
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
IPC主分类号：
C23C1648
IPC分类号：
C23C1652
代理机构：
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139
代理人：
孙皓晨
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-04 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/48 申请日:20201221 |