晶圆处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721857045.6

申请日：

2017-12-26

公开(公告)号：

CN207558768U

公开(公告)日：

2018-06-29

发明(设计)人：

梁倪萍陈伏宏刘家桦

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-29	授权	授权

共 50 条

[41]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[42]

晶圆清洗装置 [P].

孙书雄 ;

张宏权 ;

庄武斌 ;

张锐 ;

李剑 .

中国专利 :CN214588757U ,2021-11-02

[43]

晶圆清洗装置 [P].

赵黎 ;

刘家桦 ;

卢思源 .

中国专利 :CN208127151U ,2018-11-20

[44]

晶圆校准装置 [P].

孔彬 ;

相宇阳 ;

戴金方 ;

耿晓杨 .

中国专利 :CN220774324U ,2024-04-12

[45]

晶圆清洗装置 [P].

卢思源 ;

陈章晏 ;

云巴图 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981177U ,2020-01-21

[46]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN218282848U ,2023-01-13

[47]

晶圆清洗装置 [P].

张家永 ;

高英哲 ;

张文福 .

中国专利 :CN207752978U ,2018-08-21

[48]

晶圆清洗装置 [P].

卢思源 ;

赵黎 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207752980U ,2018-08-21

[49]

晶圆处理方法及装置 [P].

杨震 ;

王雷 ;

王琳 .

中国专利 :CN118969658A ,2024-11-15

[50]

晶圆承载装置 [P].

刘凯 ;

吴宇 ;

段贤明 .

中国专利 :CN216084838U ,2022-03-18

← 1 2 3 4 5 →