MEMS芯片封装结构及晶圆级封装方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510778318.7
申请日
2015-11-13
公开(公告)号
CN105439073B
公开(公告)日
2016-03-30
发明(设计)人
万里兮 马力 付俊 翟玲玲
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路112号
IPC主分类号
B81B700
IPC分类号
B81C300
代理机构
昆山四方专利事务所 32212
代理人
盛建德;段新颖
法律状态
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆级封装方法及晶圆级封装结构 [P]. 
陈海杰 ;
胡震 ;
刘昊宇 .
中国专利 :CN115132594B ,2025-03-28
[2]
晶圆级封装方法及晶圆级封装结构 [P]. 
陈海杰 ;
胡震 ;
刘昊宇 .
中国专利 :CN115132594A ,2022-09-30
[3]
晶圆级封装方法及晶圆级封装结构 [P]. 
王红海 .
中国专利 :CN113582131B ,2024-06-28
[4]
晶圆级封装方法及晶圆级封装结构 [P]. 
王红海 .
中国专利 :CN113582131A ,2021-11-02
[5]
晶圆级芯片封装方法及芯片封装结构 [P]. 
谢国梁 .
中国专利 :CN115274553B ,2025-10-17
[6]
晶圆级芯片封装方法及封装结构 [P]. 
王之奇 ;
俞国庆 ;
邹秋红 ;
王宥军 ;
王蔚 .
中国专利 :CN101419952B ,2009-04-29
[7]
新型晶圆级MEMS芯片封装结构及其封装方法 [P]. 
万里兮 ;
韩磊 ;
王晔晔 ;
范俊 ;
沈建树 ;
张春艳 ;
黄小花 ;
戴青 ;
廖建亚 ;
钱静娴 ;
王刚 ;
卢梦泽 ;
夏文斌 .
中国专利 :CN104445046B ,2015-03-25
[8]
MEMS器件晶圆级封装方法及封装结构 [P]. 
陈福成 .
中国专利 :CN110937570A ,2020-03-31
[9]
MEMS器件晶圆级封装方法及封装结构 [P]. 
黄河 ;
刘孟彬 ;
向阳辉 .
中国专利 :CN113929053A ,2022-01-14
[10]
晶圆级封装方法及晶圆级封装结构 [P]. 
王金丽 ;
向阳辉 ;
刘孟彬 .
中国专利 :CN111180438B ,2020-05-19