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基于磁控溅射与蒸发的超薄薄膜双面镀膜方法及设备
被引：0
申请号：
CN202210862534.X
申请日：
2022-07-21
公开(公告)号：
CN115369374A
公开(公告)日：
2022-11-22
发明(设计)人：
朱建明
申请人：
申请人地址：
526060 广东省肇庆市端州一路南侧（市财贸学校对面）
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
C23C1435
C23C1424
C23C1414
C23C1454
代理机构：
广州蓝晟专利代理事务所(普通合伙) 44452
代理人：
谢静娜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-22 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20220721 |