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用于化学气相沉积装置的托盘和化学气相沉积装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922459233.9
申请日：
2019-12-31
公开(公告)号：
CN211570766U
公开(公告)日：
2020-09-25
发明(设计)人：
姜勇
汪国元
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
C23C16458
IPC分类号：
C23C1646
C23C16455
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
包姝晴;张静洁
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-25 | 授权 | 授权 |