蒸发装置、蒸镀装置以及蒸镀装置中的蒸发装置的切换方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580014651.5

申请日：

2005-06-15

公开(公告)号：

CN100558929C

公开(公告)日：

2007-04-18

发明(设计)人：

松本祐司前羽良保铃木和人井上铁也大工博之

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1402

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

史雁鸣

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-04-18	公开	公开
2007-06-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2018-07-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20050615 授权公告日:20091111 终止日期:20170615
2009-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸发装置、蒸镀设备和蒸镀方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN106119781B ,2016-11-16

[2]

蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统 [P].

菅原由季 .

中国专利 :CN110541146A ,2019-12-06

[3]

蒸镀装置和该蒸镀装置所用的蒸发源 [P].

楠敏明 ;

山本健一 ;

玉腰武司 ;

三宅龙也 ;

松浦宏育 ;

矢崎秋夫 ;

尾方智彦 ;

松崎永二 .

中国专利 :CN103938162A ,2014-07-23

[4]

蒸发装置及蒸镀设备 [P].

张真明 ;

张一峰 ;

龙巍 ;

胡逾超 .

中国专利 :CN222781671U ,2025-04-22

[5]

蒸镀机的蒸发源装置及蒸镀机 [P].

叶岚凯 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN104109834B ,2014-10-22

[6]

蒸镀方法以及蒸镀装置 [P].

万冀豫 ;

汪栋 ;

宋勇志 ;

姜晶晶 ;

齐鹏煜 .

中国专利 :CN109957762A ,2019-07-02

[7]

蒸镀材料、蒸镀装置、蒸镀方法以及显示装置的制造方法 [P].

小林勇毅 .

日本专利 :CN118147586A ,2024-06-07

[8]

蒸镀装置以及蒸镀方法 [P].

末永真吾 ;

山下和吉 ;

滨永教彰 .

中国专利 :CN111206226A ,2020-05-29

[9]

真空蒸镀装置中蒸镀材料的蒸发或升华方法及坩埚装置 [P].

上川健司 .

中国专利 :CN102277557A ,2011-12-14

[10]

一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法 [P].

胡海兵 .

中国专利 :CN104762601A ,2015-07-08

← 1 2 3 4 5 →