基板清洗装置及其工作方法、基板清洗系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310429781.1

申请日：

2013-09-18

公开(公告)号：

CN103480622B

公开(公告)日：

2014-01-01

发明(设计)人：

井杨坤

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号

IPC主分类号：

B08B1104

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101567146257 IPC(主分类):B08B 11/04 专利申请号:2013104297811 申请日:20130918
2016-06-08	授权	授权
2014-01-01	公开	公开

共 50 条

[1]

基板清洗装置、基板清洗系统以及基板清洗方法 [P].

金子都 ;

折居武彦 ;

志村悟 ;

山下刚秀 ;

菅野至 .

中国专利 :CN103567169B ,2014-02-12

[2]

基板清洗装置及其基板清洗方法 [P].

彭竑凯 .

中国专利 :CN113658886A ,2021-11-16

[3]

基板清洗装置及基板清洗系统 [P].

舒福璋 ;

李伟 ;

尹影 ;

石启鹏 .

中国专利 :CN117563994A ,2024-02-20

[4]

基板清洗装置及基板清洗系统 [P].

舒福璋 ;

李伟 ;

尹影 ;

石启鹏 .

中国专利 :CN221657283U ,2024-09-06

[5]

基板清洗方法及基板清洗装置 [P].

小寺健治 ;

内山圭介 ;

山本晓 ;

山野边北斗 .

中国专利 :CN114270475A ,2022-04-01

[6]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104624561B ,2015-05-20

[7]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

相原明德 ;

田中晓 ;

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN104637784B ,2015-05-20

[8]

基板清洗方法、基板清洗系统 [P].

金子都 ;

田内启士 ;

折居武彦 ;

菅野至 .

中国专利 :CN110270558A ,2019-09-24

[9]

基板清洗装置 [P].

韩培丁 .

中国专利 :CN214477360U ,2021-10-22

[10]

基板清洗系统及基板清洗方法 [P].

邱奕锦 ;

孙志源 ;

林清山 .

中国专利 :CN114695162B ,2025-08-12

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