一种刻蚀液储液装置及湿法刻蚀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410273131.7

申请日：

2014-06-18

公开(公告)号：

CN104087938A

公开(公告)日：

2014-10-08

发明(设计)人：

李梁梁郭总杰丁向前刘耀白金超

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 1/08 申请公布日:20141008
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587992228 IPC(主分类):C23F 1/08 专利申请号:2014102731317 申请日:20140618
2014-10-08	公开	公开

共 50 条

[1]

供液装置及湿法刻蚀设备 [P].

喻畅 ;

董明 ;

钱文明 .

中国专利 :CN205211717U ,2016-05-04

[2]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[3]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN105742213B ,2016-07-06

[4]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

褚海波 .

中国专利 :CN110364421B ,2019-10-22

[5]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

房现飞 ;

周广福 ;

代智杰 ;

孟原 .

中国专利 :CN103409752A ,2013-11-27

[6]

刻蚀液及刻蚀装置 [P].

赵芬利 ;

秦文 ;

张月红 .

中国专利 :CN109930153B ,2019-06-25

[7]

一种可调节刻蚀液浓度的湿法刻蚀装置 [P].

刘丹 ;

方亮 ;

黄中浩 ;

刘毅 ;

林鸿涛 ;

吴旭 ;

张淑芳 ;

吴芳 .

中国专利 :CN114613704A ,2022-06-10

[8]

一种用于PAN型刻蚀液的湿法刻蚀装置 [P].

刘丹 ;

方亮 ;

黄中浩 ;

陈国良 ;

吴芳 ;

张淑芳 ;

刘高斌 ;

管飞 ;

吴旭 ;

林鸿涛 .

中国专利 :CN118248593A ,2024-06-25

[9]

一种刻蚀槽装置及湿法刻蚀设备 [P].

陈大鹏 ;

冉晓芳 ;

邬小可 ;

马律成 ;

王森 ;

王一川 .

中国专利 :CN218371759U ,2023-01-24

[10]

一种电池片湿法刻蚀液 [P].

徐峰 ;

谭飞 ;

章伟冠 ;

许维国 ;

郑以路 .

中国专利 :CN107452615A ,2017-12-08

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