一种可调节刻蚀液浓度的湿法刻蚀装置

被引：0

申请号：

CN202210338727.5

申请日：

2022-03-30

公开(公告)号：

CN114613704A

公开(公告)日：

2022-06-10

发明(设计)人：

刘丹方亮黄中浩刘毅林鸿涛吴旭张淑芳吴芳

申请人：

申请人地址：

400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

重庆航图知识产权代理事务所(普通合伙) 50247

代理人：

霍本俊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220330
2022-06-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种刻蚀液储液装置及湿法刻蚀设备 [P].

李梁梁 ;

郭总杰 ;

丁向前 ;

刘耀 ;

白金超 .

中国专利 :CN104087938A ,2014-10-08

[2]

一种用于PAN型刻蚀液的湿法刻蚀装置 [P].

刘丹 ;

方亮 ;

黄中浩 ;

陈国良 ;

吴芳 ;

张淑芳 ;

刘高斌 ;

管飞 ;

吴旭 ;

林鸿涛 .

中国专利 :CN118248593A ,2024-06-25

[3]

一种湿法刻蚀机刻蚀装置 [P].

胡伟 ;

叶成枝 ;

肖冠华 ;

杨子衡 ;

吴代吾 ;

侯智 .

中国专利 :CN203782235U ,2014-08-20

[4]

一种湿法刻蚀设备和湿法刻蚀的方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN106898569A ,2017-06-27

[5]

一种用于铋基薄膜湿法刻蚀的刻蚀液 [P].

蒋书文 ;

高莉彬 ;

李言荣 ;

李汝冠 .

中国专利 :CN101705096A ,2010-05-12

[6]

一种用于湿法刻蚀的喷嘴、湿法刻蚀设备 [P].

吴良辉 ;

蒋阳波 ;

李君 ;

张静平 ;

游晓英 .

中国专利 :CN107591348A ,2018-01-16

[7]

湿法刻蚀装置及其刻蚀方法 [P].

常建宇 .

中国专利 :CN104091775A ,2014-10-08

[8]

湿法刻蚀装置 [P].

李宁 ;

冷祥 ;

魏明 .

中国专利 :CN218039110U ,2022-12-13

[9]

湿法刻蚀装置 [P].

刘俊领 .

中国专利 :CN109244009A ,2019-01-18

[10]

湿法刻蚀装置 [P].

兰升友 ;

袁山富 .

中国专利 :CN217822683U ,2022-11-15

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