一种用于铋基薄膜湿法刻蚀的刻蚀液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910216161.3

申请日：

2009-11-06

公开(公告)号：

CN101705096A

公开(公告)日：

2010-05-12

发明(设计)人：

蒋书文高莉彬李言荣李汝冠

申请人：

申请人地址：

611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

IPC主分类号：

C09K1308

IPC分类号：

代理机构：

电子科技大学专利中心 51203

代理人：

葛启函

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-12	公开	公开
2010-06-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101003503921 IPC(主分类):C09K 13/08 专利申请号:2009102161613 申请日:20091106
2012-08-15	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101439949704 IPC(主分类):C09K 13/08 专利申请号:2009102161613 公开日:20100512

共 50 条

[1]

一种用于湿法刻蚀的喷嘴、湿法刻蚀设备 [P].

吴良辉 ;

蒋阳波 ;

李君 ;

张静平 ;

游晓英 .

中国专利 :CN107591348A ,2018-01-16

[2]

一种用于PAN型刻蚀液的湿法刻蚀装置 [P].

刘丹 ;

方亮 ;

黄中浩 ;

陈国良 ;

吴芳 ;

张淑芳 ;

刘高斌 ;

管飞 ;

吴旭 ;

林鸿涛 .

中国专利 :CN118248593A ,2024-06-25

[3]

一种用于湿法刻蚀的带液滚轮及湿法刻蚀方法 [P].

卢林 ;

陈斌 ;

王云露 .

中国专利 :CN112309913A ,2021-02-02

[4]

一种用于湿法刻蚀的带液滚轮及湿法刻蚀方法 [P].

卢林 ;

陈斌 ;

王云露 .

中国专利 :CN112309913B ,2025-01-21

[5]

一种刻蚀液储液装置及湿法刻蚀设备 [P].

李梁梁 ;

郭总杰 ;

丁向前 ;

刘耀 ;

白金超 .

中国专利 :CN104087938A ,2014-10-08

[6]

一种可调节刻蚀液浓度的湿法刻蚀装置 [P].

刘丹 ;

方亮 ;

黄中浩 ;

刘毅 ;

林鸿涛 ;

吴旭 ;

张淑芳 ;

吴芳 .

中国专利 :CN114613704A ,2022-06-10

[7]

一种湿法刻蚀设备和湿法刻蚀的方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN106898569A ,2017-06-27

[8]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

褚海波 .

中国专利 :CN110364421B ,2019-10-22

[9]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

房现飞 ;

周广福 ;

代智杰 ;

孟原 .

中国专利 :CN103409752A ,2013-11-27

[10]

一种用于湿法刻蚀的干燥喷嘴、湿法刻蚀设备 [P].

吴良辉 ;

蒋阳波 ;

张静平 ;

李君 ;

顾立勋 .

中国专利 :CN107579026B ,2018-01-12

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