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一种用于湿法刻蚀的带液滚轮及湿法刻蚀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011054898.2
申请日：
2020-09-28
公开(公告)号：
CN112309913B
公开(公告)日：
2025-01-21
发明(设计)人：
卢林
陈斌
王云露
申请人：
晶澳（扬州）太阳能科技有限公司
申请人地址：
225009 江苏省扬州市经济开发区建华路1号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/306
H10F71/00
代理机构：
北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386
代理人：
侯永帅
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
衡水市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-21 | 授权 | 授权 |