MEMS器件及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810322117.X

申请日：

2018-04-11

公开(公告)号：

CN110366083B

公开(公告)日：

2019-10-22

发明(设计)人：

李鑫郭亮良

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H04R1900

IPC分类号：

H04R3100

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-22	公开	公开
2019-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H04R 19/00 申请日:20180411
2021-02-12	授权	授权

共 50 条

[41]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

俞宏俊 .

中国专利 :CN108203075A ,2018-06-26

[42]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

伏广才 ;

李志超 .

中国专利 :CN107226450A ,2017-10-03

[43]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

伏广才 ;

张先明 ;

刘庆鹏 ;

万久平 .

中国专利 :CN106365109A ,2017-02-01

[44]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105992113B ,2016-10-05

[45]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 ;

李卫刚 ;

王伟 .

中国专利 :CN105439078A ,2016-03-30

[46]

一种MEMS器件制备方法及其制得的MEMS器件 [P].

律明琛 ;

赵大国 ;

滕菲 ;

舒赟翌 ;

王若飞 ;

何京涛 ;

计园火 .

中国专利 :CN121134675A ,2025-12-16

[47]

一种MEMS器件及其制备方法 [P].

胡永刚 ;

周国平 ;

夏长奉 .

中国专利 :CN110092345B ,2019-08-06

[48]

MEMS压电声学器件及其制备方法 [P].

王韬 .

中国专利 :CN119865748A ,2025-04-22

[49]

MEMS器件及其制备方法、电子设备 [P].

郭景文 ;

刘建兴 ;

赵建昀 ;

李必奇 .

中国专利 :CN117730050A ,2024-03-19

[50]

MEMS器件及制备方法 [P].

李文波 ;

刘金豆 ;

张寒冰 ;

王龙 ;

李延钊 .

中国专利 :CN115571847A ,2023-01-06

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