多晶硅生产过程中产生的高温废氮气的回收利用装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201420491705.3
申请日
2014-08-28
公开(公告)号
CN204281317U
公开(公告)日
2015-04-22
发明(设计)人
高静 陈朝霞
申请人
申请人地址
830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
IPC主分类号
C01B2104
IPC分类号
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
罗建民;邓伯英
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[21]
多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料的干法回收处理装置 [P]. 
杜娜 ;
高帧棋 ;
蒙敏 ;
涂夏明 ;
王政 ;
李晓桌 ;
谢春荣 .
中国专利 :CN204454611U ,2015-07-08
[22]
多晶硅生产过程中含硅碱性废水的处理方法 [P]. 
侯刚 ;
周文帅 ;
杜娜 ;
涂夏明 ;
王绍祖 ;
姜静 .
中国专利 :CN104649483A ,2015-05-27
[23]
一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置 [P]. 
王亚楠 .
中国专利 :CN223026733U ,2025-06-27
[24]
一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯装置 [P]. 
郭婷 ;
赵长森 ;
牛强 ;
徐凯 ;
韩婷婷 .
中国专利 :CN218465511U ,2023-02-10
[25]
多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统 [P]. 
汪应军 ;
张骞 .
中国专利 :CN202246100U ,2012-05-30
[26]
多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统 [P]. 
张伟 ;
王惠 ;
宋高杰 ;
陈朝霞 ;
相文强 ;
赵阳 ;
董越杰 ;
王强 .
中国专利 :CN109678158A ,2019-04-26
[27]
一种多晶硅生产过程中富余蒸汽利用方法 [P]. 
李斌 ;
赵军 ;
蔡勇 ;
胡瑾 ;
曾霞 .
中国专利 :CN107781977A ,2018-03-09
[28]
多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料的干法回收方法 [P]. 
郭波 ;
高帧棋 ;
唐明元 ;
涂夏明 ;
王绍祖 ;
赵成业 .
中国专利 :CN104692391A ,2015-06-10
[29]
一种多晶硅生产过程中含氯硅烷废渣液的回收利用系统 [P]. 
赵成武 ;
罗佳林 .
中国专利 :CN212893909U ,2021-04-06
[30]
多晶硅生产过程中的带旋流板的传热传质装置 [P]. 
陆飞飞 .
中国专利 :CN102502649B ,2012-06-20