共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶圆处理装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020655922.7
申请日：
2020-04-26
公开(公告)号：
CN212136392U
公开(公告)日：
2020-12-11
发明(设计)人：
徐慧军
徐浩
徐成耀
张雅荣
申请人：
申请人地址：
201821 上海市嘉定区普惠路200号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
孙佳胤
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-11 | 授权 | 授权 |