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具有改善电特性的薄膜压电微机电结构及相应的制造工艺

被引：0
申请号：
CN202111142520.2
申请日：
2021-09-28
公开(公告)号：
CN114314494A
公开(公告)日：
2022-04-12
发明(设计)人：
D·朱斯蒂 I·马蒂尼 D·阿斯萨内利 P·费拉里尼 C·L·佩瑞里尼 F·夸利亚
申请人：
申请人地址：
意大利阿格拉布里安扎
IPC主分类号：
B81B300
IPC分类号：
B81B702 H01L41083 B81C100
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
董莘
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-04-12 公开 公开
2022-04-29 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 3/00 申请日:20210928
共 50 条
[1]
具有改进特性的压电微机电声学换能器及对应的制造工艺 [P]. 
F·塞利尼 ;
S·阿多尔诺 .
中国专利 :CN112004181B ,2020-11-27
[2]
具有腔体和压电岛的微机电装置及形成具有压电换能器的装置的方法 [P]. 
安德列亚斯·拜布尔 ;
约翰·A·希金森 ;
克里斯托弗·门泽尔 ;
保罗·A·霍伊辛顿 .
中国专利 :CN101069295B ,2007-11-07
[3]
具有平移屏蔽结构的微机电光学遮蔽件及其制造工艺 [P]. 
F·韦尔切西 ;
N·博尼 ;
F·塞利尼 ;
L·奎利诺尼 .
:CN116199178B ,2025-11-18
[4]
具有可移动结构的微机电设备及其制造工艺 [P]. 
S·克斯坦蒂尼 ;
M·卡米纳蒂 ;
D·A·L·加蒂 ;
L·M·卡斯托尔迪 ;
R·卡尔米纳蒂 .
中国专利 :CN108249387A ,2018-07-06
[5]
具有改善的外部流体耦合的微机电传感器及其制造工艺 [P]. 
L·滕托里 ;
M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 .
:CN120553629A ,2025-08-29
[6]
用于实现高的力及偏斜的具有微机械压电致动器的微机电系统 [P]. 
费比安·施托普佩尔 ;
伯恩哈德·瓦格纳 .
中国专利 :CN107005769B ,2017-08-01
[7]
微机电感测装置封装结构及制造工艺 [P]. 
李硕源 ;
康成国 ;
李敬燮 ;
林秉俊 ;
金*洙 ;
金熙嬿 ;
李胜茂 .
中国专利 :CN105293421A ,2016-02-03
[8]
微机电感测装置封装结构及制造工艺 [P]. 
李硕源 ;
康成国 ;
李敬燮 ;
林秉俊 ;
金*洙 ;
金熙嬿 ;
李胜茂 .
中国专利 :CN108689382A ,2018-10-23
[9]
具有改进结构的、带有压电止动的微机电镜设备 [P]. 
N·博尼 ;
R·卡尔米纳蒂 ;
M·默利 .
中国专利 :CN113009760B ,2021-06-22
[10]
具有掩埋的导电区域的微机电器件及其制造工艺 [P]. 
R·坎佩代利 ;
R·佩祖托 ;
S·洛萨 ;
M·曼托瓦尼 ;
M·阿兹佩提亚乌尔奎亚 .
中国专利 :CN103917482B ,2014-07-09
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