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一种锗基肖特基N型场效应晶体管的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110026949.5
申请日：
2011-01-25
公开(公告)号：
CN102136428B
公开(公告)日：
2011-07-27
发明(设计)人：
李志强
郭岳
安霞
云全新
黄英龙
黄如
张兴
申请人：
申请人地址：
100871 北京市海淀区颐和园路5号
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
H01L2947
H01L2978
代理机构：
北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360
代理人：
贾晓玲
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-07-27 | 公开 | 公开 |
| 2013-06-19 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101616226296 IPC(主分类):H01L 21/336 专利号:ZL2011100269495 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京大学 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100871 北京市海淀区颐和园路5号 变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号 变更事项:专利权人 变更前权利人:无 变更后权利人:北京大学 登记生效日:20130528 |
| 2012-07-25 | 授权 | 授权 |
| 2011-09-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101104508695 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2011100269495 申请日:20110125 |