一种抑制铜互连结构中铜氧化的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910199054.4

申请日：

2009-11-19

公开(公告)号：

CN101710577A

公开(公告)日：

2010-05-19

发明(设计)人：

丁少锋谢琦屈新萍

申请人：

申请人地址：

200433 上海市邯郸路220号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101035093698 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101990544 申请日:20091119
2010-05-19	公开	公开
2012-07-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101412127309 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101990544 公开日:20100519

共 50 条

[1]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张卫 ;

谢立恒 ;

丁士进 ;

王鹏飞 .

中国专利 :CN102903699A ,2013-01-30

[2]

降低铜互连结构中铜的电迁移的方法及铜互连结构 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102214600A ,2011-10-12

[3]

一种铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

朱尚斌 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN103325769A ,2013-09-25

[4]

一种铜互连结构制备方法 [P].

卢红亮 ;

谢章熠 ;

张卫 .

中国专利 :CN103325729A ,2013-09-25

[5]

一种铜互连结构的制造方法 [P].

艾璞 ;

李秋茂 ;

林昭宏 .

中国专利 :CN120300069A ,2025-07-11

[6]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[7]

铜互连结构的清洗方法 [P].

罗朝以 ;

许力恒 ;

夏汇哲 ;

李松 .

中国专利 :CN113506722A ,2021-10-15

[8]

一种集成电路铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张远 ;

耿阳 ;

朱尚斌 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN103745971A ,2014-04-23

[9]

一种集成电路铜互连结构及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张远 ;

朱尚斌 ;

耿阳 ;

孙清清 ;

张卫 .

中国专利 :CN103325770A ,2013-09-25

[10]

一种集成电路铜互连结构及其制备方法 [P].

丁少锋 ;

屈新萍 ;

陈飞 ;

蒋玉龙 ;

茹国平 .

中国专利 :CN102117796A ,2011-07-06

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