沟槽的形成方法和浅沟槽隔离结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711077967.X

申请日：

2017-11-06

公开(公告)号：

CN109755171A

公开(公告)日：

2019-05-14

发明(设计)人：

尹卓

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

侯莉;毛立群

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20171106
2019-05-14	公开	公开
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/762 申请公布日:20190514

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张翼英 .

中国专利 :CN103811403B ,2014-05-21

[2]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN104103569A ,2014-10-15

[3]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

刘丽媛 ;

孙文彦 ;

陶骞 .

中国专利 :CN113299597A ,2021-08-24

[4]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

李冰 ;

钟鸿轩 ;

黄乐毫 .

中国专利 :CN118156218A ,2024-06-07

[5]

浅沟槽隔离的形成方法 [P].

肖敬才 ;

邱元元 ;

郭振强 ;

黄鹏 .

中国专利 :CN112928059A ,2021-06-08

[6]

浅沟槽隔离的形成方法及浅沟槽隔离结构 [P].

刘明源 ;

石磊 ;

张文广 ;

郑春生 .

中国专利 :CN101197306A ,2008-06-11

[7]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

郑春生 ;

张文广 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN103531521A ,2014-01-22

[8]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

周儒领 ;

蔡君正 ;

许宗能 ;

吴佳特 ;

詹奕鹏 .

中国专利 :CN111933566A ,2020-11-13

[9]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

林竞尧 ;

肖春光 .

中国专利 :CN101197304A ,2008-06-11

[10]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

沈满华 ;

陈海华 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101752290B ,2010-06-23

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