图形化衬底的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810803885.7

申请日：

2018-07-20

公开(公告)号：

CN108919614A

公开(公告)日：

2018-11-30

发明(设计)人：

徐平冯磊

申请人：

申请人地址：

423038 湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区

IPC主分类号：

G03F730

IPC分类号：

代理机构：

北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603

代理人：

于淼

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/30 申请公布日:20181130
2018-11-30	公开	公开
2018-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/30 申请日:20180720

共 50 条

[1]

图形化衬底的制作方法 [P].

于洪波 ;

肖德元 ;

程蒙召 ;

张汝京 .

中国专利 :CN102569038A ,2012-07-11

[2]

图形化衬底的表面处理方法和图形化衬底的刻蚀方法 [P].

张师杰 .

中国专利 :CN118825146A ,2024-10-22

[3]

图形化衬底及其制备方法 [P].

何洋 ;

董建荣 ;

李奎龙 ;

孙玉润 .

中国专利 :CN104867965A ,2015-08-26

[4]

一种图形化衬底及图形化衬底的加工方法 [P].

马亮 ;

胡兵 ;

裴晓将 ;

李金权 ;

刘素娟 .

中国专利 :CN104319324A ,2015-01-28

[5]

一种图形化衬底的制备方法及图形化衬底 [P].

张博业 ;

宋得林 .

中国专利 :CN105336824A ,2016-02-17

[6]

一种图形化衬底的制备方法及图形化衬底 [P].

赖世国 ;

康凯 ;

张小琼 ;

王农华 ;

刘青 .

中国专利 :CN119997679A ,2025-05-13

[7]

图形化衬底的刻蚀方法 [P].

高福宝 .

中国专利 :CN102456545A ,2012-05-16

[8]

SiC衬底的图形化方法 [P].

杨成樾 ;

王臻星 ;

白云 ;

汤益丹 ;

陈宏 ;

田晓丽 ;

刘新宇 .

中国专利 :CN108063088B ,2018-05-22

[9]

图形化衬底的制备方法 [P].

安铁雷 .

中国专利 :CN105470353A ,2016-04-06

[10]

介质图形化衬底结构 [P].

郝茂盛 ;

吴昊 ;

马艳红 ;

陈朋 ;

张楠 ;

袁根如 .

中国专利 :CN215668289U ,2022-01-28

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