图形化衬底的表面处理方法和图形化衬底的刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310421304.4

申请日：

2023-04-18

公开(公告)号：

CN118825146A

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

张师杰

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L33/00

IPC分类号：

H01L33/20

代理机构：

北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726

代理人：

李也庚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 33/00申请日:20230418
2024-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

图形化衬底的刻蚀方法 [P].

高福宝 .

中国专利 :CN102456545A ,2012-05-16

[2]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037039A ,2018-12-18

[3]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法 [P].

徐平 .

中国专利 :CN109037402A ,2018-12-18

[4]

一种图形化衬底、图形化衬底的制备方法及LED芯片 [P].

范绅钺 ;

田晓强 ;

梁毅 ;

李孟轩 ;

文国昇 .

中国专利 :CN114823994A ,2022-07-29

[5]

一种图形化衬底、图形化衬底的制备方法及LED芯片 [P].

范绅钺 ;

田晓强 ;

梁毅 ;

李孟轩 ;

文国昇 .

中国专利 :CN114823994B ,2025-08-26

[6]

图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法和系统 [P].

谢雪峰 ;

李明远 ;

郭爱华 .

中国专利 :CN102129971A ,2011-07-20

[7]

一种图形化衬底的制备方法及图形化衬底 [P].

张博业 ;

宋得林 .

中国专利 :CN105336824A ,2016-02-17

[8]

一种图形化衬底的制备方法及图形化衬底 [P].

赖世国 ;

康凯 ;

张小琼 ;

王农华 ;

刘青 .

中国专利 :CN119997679A ,2025-05-13

[9]

图形化衬底的方法 [P].

徐平 ;

冯磊 .

中国专利 :CN108919614A ,2018-11-30

[10]

用于蓝宝石衬底的图形化结构及图形化衬底 [P].

霍曜 ;

李彬彬 ;

吴福仁 ;

李瑞评 .

中国专利 :CN216818362U ,2022-06-24

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