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填充衬底表面内形成的凹陷部的方法和设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010095819.6
申请日：
2020-02-17
公开(公告)号：
CN111593330A
公开(公告)日：
2020-08-28
发明(设计)人：
V.波雷
刘泽铖
申请人：
申请人地址：
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
C23C1650
C23C1624
C23C1652
C23C1656
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
焦玉恒
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-28 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20200217 |