用于填充在衬底表面内形成的凹部的循环沉积方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010095851.4

申请日：

2020-02-17

公开(公告)号：

CN111593319A

公开(公告)日：

2020-08-28

发明(设计)人：

刘泽铖 V.波雷

申请人：

申请人地址：

荷兰阿尔梅勒

IPC主分类号：

C23C1604

IPC分类号：

C23C16455 C23C1650

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

焦玉恒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-28	公开	公开
2022-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/04 申请日:20200217

共 50 条

[1]

填充衬底表面内形成的凹陷部的方法和设备 [P].

V.波雷 ;

刘泽铖 .

中国专利 :CN111593330A ,2020-08-28

[2]

填充衬底表面上的凹部的方法、系统及结构 [P].

须佐圭雄 ;

杉浦博次 ;

菊地良幸 .

中国专利 :CN114864478A ,2022-08-05

[3]

在衬底上形成焊料沉积的方法 [P].

S.兰普雷希特 ;

K-J.马特雅特 ;

I.埃沃特 ;

S.肯尼 .

中国专利 :CN103026475A ,2013-04-03

[4]

在衬底表面形成膜的方法、设备及形成的膜 [P].

安重镒 ;

金成基 ;

项金娟 ;

李亭亭 ;

刘青 .

中国专利 :CN114657540B ,2025-04-01

[5]

在衬底表面形成膜的方法、设备及形成的膜 [P].

安重镒 ;

金成基 ;

项金娟 ;

李亭亭 ;

刘青 .

中国专利 :CN114657540A ,2022-06-24

[6]

用于在衬底上沉积材料层的方法以及相应形成的结构 [P].

J·安图内斯阿方索 ;

S·瓦拉斯 ;

P·查特拉因 ;

K·A·帕特尔 ;

F·达沃迪 .

:CN118610077A ,2024-09-06

[7]

用于在衬底上形成焊料沉积物的方法 [P].

英戈·埃韦特 ;

斯文·兰普雷希特 ;

凯-延斯·马特亚 ;

托马斯·普利特 .

中国专利 :CN102187749A ,2011-09-14

[8]

在衬底上形成焊料合金沉积的方法 [P].

K-J.马特雅特 ;

S.兰普雷希特 ;

I.埃沃特 .

中国专利 :CN103026476A ,2013-04-03

[9]

用于衬底的表面处理的方法和设备 [P].

M.温普林格 .

中国专利 :CN107078028A ,2017-08-18

[10]

用于衬底的表面处理的方法和设备 [P].

M.温普林格 .

中国专利 :CN111549328A ,2020-08-18

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