反射镜、光刻设备以及器件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980129219.9

申请日：

2009-07-16

公开(公告)号：

CN102105837A

公开(公告)日：

2011-06-22

发明(设计)人：

V·班尼恩 L·斯基曼恩奥克 A·M·雅库尼恩

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G21K106

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王波波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-22	公开	公开
2014-04-30	授权	授权
2011-10-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101114912313 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2009801292199 申请日:20090716

共 50 条

[1]

用于光刻设备的反射镜层和反射镜 [P].

Z·S·豪厄林 ;

I·唐梅兹诺扬 .

:CN119923599A ,2025-05-02

[2]

光刻设备的反射镜和光刻设备 [P].

M.施瓦布 ;

R.芬肯 ;

B.戈珀特 .

中国专利 :CN107003620B ,2017-08-01

[3]

多层反射镜和光刻设备 [P].

D·克鲁什考沃 ;

V·班尼恩 ;

L·斯基曼恩奥克 ;

N·萨拉斯科恩考 ;

N·克哈罗 .

中国专利 :CN102318010A ,2012-01-11

[4]

多层反射镜和光刻设备 [P].

A·M·雅库尼恩 .

中国专利 :CN102736441B ,2012-10-17

[5]

多层反射镜和光刻设备 [P].

D·格卢什科夫 ;

V·巴内尼 ;

J·H·J·莫尔斯 ;

L·A·斯基梅诺克 ;

N·N·塞拉斯申科 .

中国专利 :CN102047183B ,2011-05-04

[6]

具有分段反射镜的光刻设备 [P].

J.哈特杰斯 .

中国专利 :CN104428647A ,2015-03-18

[7]

光刻设备以及器件制造方法 [P].

K·范隐真申诺 ;

J·范斯库特 ;

G·德维里斯 .

中国专利 :CN102695988B ,2012-09-26

[8]

光刻设备以及器件制造方法 [P].

J·范斯库特 ;

克恩·万英根谢诺 ;

G·德维里斯 .

中国专利 :CN102612667B ,2012-07-25

[9]

光刻设备以及器件制造方法 [P].

H·巴特勒 ;

M·W·M·范德维基斯特 ;

C·A·L·德霍恩 .

中国专利 :CN101441420B ,2009-05-27

[10]

用于去除光刻设备的无盖层的多层反射镜上的沉积物的方法、光刻设备以及器件制造方法 [P].

V·班尼恩 ;

M·杰克 ;

W·索尔 ;

M·凡赫彭 .

中国专利 :CN102077142A ,2011-05-25

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