AlGaN/GaN异质结增强型器件及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210476553.5
申请日
2012-11-21
公开(公告)号
CN102938413A
公开(公告)日
2013-02-20
发明(设计)人
王冲 郝跃 何云龙 郑雪峰 马晓华 张进城
申请人
申请人地址
710071 陕西省西安市太白南路2号
IPC主分类号
H01L29778
IPC分类号
H01L2906 H01L29423 H01L21335 H01L2128
代理机构
陕西电子工业专利中心 61205
代理人
王品华;朱红星
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
原位SiN帽层AlGaN/GaN异质结增强型器件及其制作方法 [P]. 
王冲 ;
何云龙 ;
郝跃 ;
郑雪峰 ;
马晓华 ;
张进城 .
中国专利 :CN102945860A ,2013-02-27
[2]
基于增强型AlGaN/GaN HEMT器件结构及其制作方法 [P]. 
冯倩 ;
杜锴 ;
代波 ;
张春福 ;
梁日泉 ;
张进成 ;
郝跃 .
中国专利 :CN103904111A ,2014-07-02
[3]
InAlN/AlGaN增强型高电子迁移率晶体管及其制作方法 [P]. 
薛军帅 ;
李姚 ;
郝跃 ;
张进成 .
中国专利 :CN104393039B ,2015-03-04
[4]
一种增强型AlGaN/GaN异质结场效应晶体管 [P]. 
段宝兴 ;
袁嵩 ;
杨银堂 .
中国专利 :CN104167440B ,2014-11-26
[5]
结型积累层增强型AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管及其制作方法 [P]. 
段宝兴 ;
杨珞云 ;
杨银堂 .
中国专利 :CN113707708A ,2021-11-26
[6]
槽形沟道AlGaN/GaN增强型HEMT器件及制作方法 [P]. 
张进成 ;
陈珂 ;
郝跃 ;
马晓华 ;
王冲 ;
付小凡 ;
马俊彩 ;
刘子扬 ;
林志宇 ;
张凯 .
中国专利 :CN102130160A ,2011-07-20
[7]
基于Si衬底AlGaN/GaN异质结基的增强型HEMT器件 [P]. 
王洪 ;
周泉斌 ;
李祈昕 .
中国专利 :CN206697485U ,2017-12-01
[8]
InA1N/GaN异质结增强型高电子迁移率晶体管结构及制作方法 [P]. 
王冲 ;
郝跃 ;
张金凤 ;
陈军峰 ;
张进城 ;
冯倩 .
中国专利 :CN101246902A ,2008-08-20
[9]
一种增强型MIS结构AlGaN/GaN异质结场效应晶体管 [P]. 
段宝兴 ;
袁嵩 ;
杨银堂 .
中国专利 :CN104167441B ,2014-11-26
[10]
增强型AlGaN/GaN HEMT器件及其制备方法 [P]. 
邹鹏辉 ;
王文博 ;
邱士起 ;
程永健 ;
李家辉 ;
姜奥旋 ;
马飞 .
中国专利 :CN119743971A ,2025-04-01